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ASTRON®系列远程等离子体源 基于NF3等含氟气体电离,产生活性气体,广泛地应用于CVD等工艺腔清洗,它具有功率大,效率高等特点。产品有:
ASTeX®远程等离子体源 适用于O2、N2、H2、H2O等气体,广泛应用于CVD,ETCH,去胶等晶圆工艺。